半導(dǎo)體是介于導(dǎo)體和絕緣體之間的一種材料。對(duì)水的要求特別高，水不應(yīng)含有離子雜質(zhì)。因此，半導(dǎo)體工業(yè)通常需要使用超純水設(shè)備。
超純水設(shè)備主要由預(yù)處理、兩段反滲透、EDI模塊和后處理裝置組成。生產(chǎn)出來(lái)的水要求電阻率要大于18兆歐才能滿足半導(dǎo)體加工的用水需求。反滲透系統(tǒng)是超純水設(shè)備預(yù)脫鹽的核心部分。反滲透處理后的水可以去除大部分無(wú)機(jī)鹽和微生物。原理是在壓力的作用下，水分子通過(guò)。
滲濾膜變成純水，反滲透膜截留和排出水中的雜質(zhì)。反滲透是目前一種先進(jìn)的節(jié)能脫鹽方法.反滲透法主要用于去除水中溶解的鹽、離子、小分子顆粒、有機(jī)物、細(xì)菌、病毒、放射性離子等雜質(zhì)。除鹽率一般在98%以上。
EDI裝置結(jié)合了電滲析和離子交換的優(yōu)點(diǎn)，克服了電滲析和離子交換的缺點(diǎn)。EDI超純水處理工藝運(yùn)行穩(wěn)定，有效地延長(zhǎng)了EDI的使用壽命，降低了用戶的運(yùn)行成本。對(duì)DC有效。
在電場(chǎng)作用下，電解質(zhì)在離子交換膜上有選擇性遷移。陰離子交換樹脂用于在水中交換電解質(zhì)，形成“離子通道”。對(duì)水在離子交換樹脂界面極化產(chǎn)生的H+和OH-進(jìn)行了電化學(xué)再生。
超純水設(shè)備具有操作成本低、自動(dòng)化程度高、經(jīng)濟(jì)效益好等優(yōu)點(diǎn)。該工藝具有先進(jìn)、成熟、出水水質(zhì)穩(wěn)定、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定等特點(diǎn)。適用于半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路、液晶顯示屏、pdp等離子顯示。
屏幕、高質(zhì)量顯像管、熒光粉生產(chǎn)、半導(dǎo)體材料、晶體元件材料的生產(chǎn)、加工、清洗、超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)室和中試車間、汽車和家用電器表面拋光處理、光電子產(chǎn)品、其他高科技精細(xì)產(chǎn)品等。
